蘇州超精密氣浮轉臺定制
發(fā)布時間：2022-12-21 01:34:33
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中小企業(yè)是德國經(jīng)濟的重要支柱。它們從不“嫌棄”自己的產(chǎn)品和領域不夠“高大上”，而是孜孜不倦，力求把產(chǎn)品做到極致，達到世界領先水平，因此這些企業(yè)也被冠以“隱形冠軍”的美名。曾參觀過德國一家生產(chǎn)工業(yè)風扇的中小企業(yè)，為了檢測風扇運行時的噪音，特意建造了先進的靜音實驗室，置身其中，可以聽到自己心跳的聲音。為提升品質舍得投入，敢于投入，這樣的產(chǎn)品無疑具有強大的國際競爭力。如果說責任感和完美主義貫穿于德國企業(yè)文化的始終，那么家庭傳承則為此打下了重要的基礎。
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西方工業(yè)化發(fā)展了幾百年，摸索出的一條重要經(jīng)驗就是通過市場和用戶的深度互動，對每一次優(yōu)化創(chuàng)新進行確認，經(jīng)過時間的打磨，最終形成本國制造的歷史積淀?！凹伎蛇M乎道，藝可通乎神。”對產(chǎn)品不斷改進、創(chuàng)新和優(yōu)化，是任何一家企業(yè)求得長遠發(fā)展的基本前提。200年前，德國人德萊斯發(fā)明了木質自行車，不經(jīng)意間開啟了一個交通提速時代。如今，德國人越來越注重自己組裝自行車，腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據(jù)騎車人的體形、使用習慣而定。
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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準直擴束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉掃描，實現(xiàn)微陣列和微結構光學器件的曝光制作?？茖W意義及應用價值：利用微光學陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要用于高精度測量儀器、光學檢測儀器、精密/超精密光機電一體化裝備、精密/超精密機床等先進裝備制造領域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運動導向和定位的關鍵部件。HHUE--D1331氣浮導軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導軌具有優(yōu)異的直線運動精度和良好的剛度，直線運動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨設計。
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HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高精度二維轉臺。10項中國發(fā)明專利技術授權國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發(fā)動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉臺核心技術指標均通過中國國家量儀產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術作為回轉軸系，轉臺軸系回轉誤差小，承載可高達數(shù)十噸。