廈門機械轉(zhuǎn)臺定制
發(fā)布時間：2023-01-05 01:34:45
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基本原理：干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。
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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬元購置德國五軸聯(lián)動數(shù)控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標磨床，光學曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標等大型精密/超精密加工與測量設(shè)備70余臺(套)，具備了設(shè)計、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認證，以顧客為關(guān)注焦點，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進，以顧客滿意為目標。
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科學意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于大型和超大型精密機械、光學精密零部件的幾何參量或部件及整機運動參量的計量檢測、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機裝配測試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺臺面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計有T型槽或固定子L的臺面形式，特殊需要可單獨定做；臺體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點。轉(zhuǎn)臺高精度旋轉(zhuǎn)時無噪聲、無振動、運動平穩(wěn)。
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當然，對于精密檢測儀器這個國內(nèi)新興的行業(yè)來說，也會有高潮和低谷的存在，因此，企業(yè)需要有一個發(fā)展的規(guī)劃，這樣才能帶領(lǐng)行業(yè)不斷的超越和發(fā)展，最終成為領(lǐng)域里的領(lǐng)頭羊。業(yè)內(nèi)人士認為，我國精密檢測技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍然不甚理想，主要原因在于此類研發(fā)企業(yè)在國內(nèi)是稀缺資源。隨著中國工業(yè)自動化和產(chǎn)業(yè)升級的發(fā)展趨勢，定向研發(fā)的精密檢測儀器在工業(yè)檢測領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮氖袌隹臻g，與此同時，中國要成為工業(yè)強國，也必須重視研發(fā)與創(chuàng)新。