重慶機械轉(zhuǎn)臺廠家
發(fā)布時間：2023-02-02 01:34:14
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基本原理：干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。
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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點實驗室，聽取了實驗室主要研究方向、研究內(nèi)容介紹。李力肯定了項目進展情況，并鼓勵科研人員努力工作，確保項目順利完成。為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項項目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于大型和超大型精密機械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機運動參量的計量檢測、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機裝配測試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺臺面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計有T型槽或固定子L的臺面形式，特殊需要可單獨定做；臺體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點。轉(zhuǎn)臺高精度旋轉(zhuǎn)時無噪聲、無振動、運動平穩(wěn)。
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先進控制策略 高精度二維轉(zhuǎn)臺采用無刷直流電機驅(qū)動;結(jié)合高精度碼盤構(gòu)成位置閉環(huán)伺服系統(tǒng)，角位置定位精度可優(yōu)于1角秒;并配有高穩(wěn)定性數(shù)顯系統(tǒng)本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)!產(chǎn)品核心技術(shù)和部件均來自國內(nèi)，3~4個月施工完成并調(diào)試結(jié)束，無需歷經(jīng)嚴(yán)苛復(fù)雜的進出口安全與商務(wù)審批過程!專家級成套解決方案!依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊，可提供超精密轉(zhuǎn)臺定制解決方案!
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。