西安機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2022-03-09 01:41:13
西安機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制
由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過(guò)預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問(wèn)題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒(méi)有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。
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他對(duì)項(xiàng)目組已經(jīng)取得的標(biāo)志性成果、研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和隊(duì)伍建設(shè)等予以充分肯定，對(duì)課題組在參與國(guó)際、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定方面所做的工作給予認(rèn)可，還特別對(duì)項(xiàng)目組在承擔(dān)專項(xiàng)任務(wù)中進(jìn)一步衍生開發(fā)出新型高度測(cè)量?jī)x器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場(chǎng)考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時(shí)了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目執(zhí)行情況，并重點(diǎn)詢問(wèn)了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進(jìn)展情況，對(duì)研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評(píng)價(jià)，并鼓勵(lì)項(xiàng)目組進(jìn)一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。
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精密液壓卡盤是為航空發(fā)動(dòng)機(jī)精密裝配測(cè)量?jī)x研發(fā)的專用精密定位部件。其精密液壓機(jī)械結(jié)構(gòu)緊湊，夾緊力可控，夾緊范圍和結(jié)構(gòu)尺寸根據(jù)具體規(guī)格專門設(shè)計(jì)，可廣泛應(yīng)用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)的研發(fā)、制造和維修領(lǐng)域。該卡盤系機(jī)/液一體化精密機(jī)械部件，是直接裝卡發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子軸的專用工裝，靠液壓傳遞夾緊力，靠同步柔性微變形機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)精密定位。該卡盤分單環(huán)和雙環(huán)兩種，分別為不同型號(hào)發(fā)動(dòng)機(jī)所用。該卡盤與超精密氣浮軸系同軸安裝成回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和裝夾一體化系統(tǒng)，用于發(fā)動(dòng)機(jī)的裝配與檢測(cè)。
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一項(xiàng)德企在華員工跨文化調(diào)查研究顯示，不少受訪者談到選擇成為機(jī)械工程師，與兒時(shí)爺爺、爸爸工具齊備的工作間有關(guān)。拿著螺絲刀，看到有螺絲就想擰一把，家里自行車、收音機(jī)等物件幾經(jīng)拆裝工程師之所以是德國(guó)主流的專業(yè)，和孩子們從小鍛煉動(dòng)手能力密不可分。有人曾在互聯(lián)網(wǎng)上提問(wèn)，為什么德國(guó)制造的汽車發(fā)動(dòng)機(jī)，常被貼上“靠譜”的標(biāo)簽？其實(shí)，制造發(fā)動(dòng)機(jī)并不難，但把性能優(yōu)化形成市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，需要大量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、市場(chǎng)和用戶數(shù)據(jù)的支持，用今天的流行說(shuō)法就是用戶為王。