煙臺機械轉(zhuǎn)臺定制
發(fā)布時間：2022-03-15 01:41:16
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適用于實驗室和車間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項發(fā)明專利技術(shù)進行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑及支撐參數(shù)設(shè)計，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點;并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動和無驅(qū)動兩種，按其需要進行驅(qū)動配置。
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科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學(xué)儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調(diào)、測試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應(yīng)用
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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗收與交付，這標志著我公司對于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎(chǔ)框架是整個光刻機的基本支持體，尺寸達2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎(chǔ)框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高，正常的制造周期為6個月。
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為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項項目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。吳學(xué)梯在考察時強調(diào)了國家實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項目在核心技術(shù)突破、工程樣機和產(chǎn)品樣機研制、測試驗證、第三方異地測試的準備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識產(chǎn)權(quán)保護、標準制定以及經(jīng)費使用等方面的進展情況。