佳木斯機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-04-13 01:39:00
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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺(tái)設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學(xué)儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機(jī)等高端裝備的加工、裝調(diào)、測(cè)試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項(xiàng)中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國(guó)家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團(tuán)等單位應(yīng)用
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無噪聲、無振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。
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適用于實(shí)驗(yàn)室和車間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑及支撐參數(shù)設(shè)計(jì)，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點(diǎn);并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動(dòng)和無驅(qū)動(dòng)兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動(dòng)配置。
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大深徑比測(cè)量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測(cè)量技術(shù),無論對(duì)單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級(jí)的測(cè)量。自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測(cè)量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測(cè)量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國(guó)外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國(guó)產(chǎn)化，60-80個(gè)工作日即可供貨,在最短的供貨時(shí)間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專家級(jí)成套解決方案超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測(cè)量成套解決方案。