哈爾濱超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制
發(fā)布時間：2022-04-24 01:38:45
哈爾濱超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制
科學意義及應用價值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測量模型，依據(jù)該測量模型，可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器，進而解決凸凹深度非球面測量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題，以期進一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動能力。
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應用。
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陸昊省長和楊雄市長等領(lǐng)導考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細觀看了一批產(chǎn)品樣機的演示，如國家重大科學儀器設備開發(fā)專項成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動機裝配測試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測量儀”、“四截面大型超精密裝配/測量儀”、“五截面大型超精密裝配/測量儀”和“超大型同軸度測量標準裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測量機”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。
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為做好國家首批國家重大科學儀器開發(fā)專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項項目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。吳學梯在考察時強調(diào)了國家實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細了解了譚久彬教授所承擔的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項目在核心技術(shù)突破、工程樣機和產(chǎn)品樣機研制、測試驗證、第三方異地測試的準備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識產(chǎn)權(quán)保護、標準制定以及經(jīng)費使用等方面的進展情況。