齊齊哈爾超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司
發(fā)布時(shí)間：2022-04-25 01:38:49
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HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測(cè)量?jī)x器、光學(xué)檢測(cè)儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見(jiàn)表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動(dòng)精度和良好的剛度，直線運(yùn)動(dòng)誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計(jì)。
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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。
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該卡盤(pán)精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造、裝調(diào)檢測(cè)和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認(rèn)可。該液壓卡盤(pán)傳遞力可在<8MPa內(nèi)進(jìn)行調(diào)整，對(duì)工件的重復(fù)裝卡精度可達(dá)2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計(jì)制造。轉(zhuǎn)接盤(pán)航空發(fā)動(dòng)機(jī)裝配專用轉(zhuǎn)接盤(pán)裝置，是根據(jù)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門(mén)設(shè)計(jì)制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上，并將相匹配的裝配件通過(guò)止口固定其上，即可進(jìn)行裝配、檢測(cè)(如圖所示)。
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適用于實(shí)驗(yàn)室和車(chē)間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過(guò)濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑及支撐參數(shù)設(shè)計(jì)，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點(diǎn);并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動(dòng)和無(wú)驅(qū)動(dòng)兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動(dòng)配置。