青島航空發(fā)動機(jī)測試儀廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-04-29 01:38:53
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動參量的計(jì)量檢測及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測試等?！疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨(dú)定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)，進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，聽取了實(shí)驗(yàn)室主要研究方向、研究內(nèi)容介紹。李力肯定了項(xiàng)目進(jìn)展情況，并鼓勵科研人員努力工作，確保項(xiàng)目順利完成。為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。
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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬元購置德國五軸聯(lián)動數(shù)控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測量設(shè)備70余臺(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿意為目標(biāo)。