南寧機械轉(zhuǎn)臺廠家
發(fā)布時間：2022-04-30 01:38:37
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在保證焦斑質(zhì)量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術(shù)，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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適用于實驗室和車間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項發(fā)明專利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑及支撐參數(shù)設(shè)計，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點;并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動和無驅(qū)動兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動配置。
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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺調(diào)心調(diào)傾工作臺安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺的臺面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降，水平運動可手動進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時可以微調(diào).通過傳感器夾持機構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測量內(nèi)孔.
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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學(xué)儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調(diào)、測試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應(yīng)用