河南超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2022-06-25 01:37:39
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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造、裝調(diào)檢測(cè)和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認(rèn)可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進(jìn)行調(diào)整，對(duì)工件的重復(fù)裝卡精度可達(dá)2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計(jì)制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動(dòng)機(jī)裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計(jì)制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進(jìn)行裝配、檢測(cè)(如圖所示)。
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。
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研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。
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精密液壓卡盤是為航空發(fā)動(dòng)機(jī)精密裝配測(cè)量?jī)x研發(fā)的專用精密定位部件。其精密液壓機(jī)械結(jié)構(gòu)緊湊，夾緊力可控，夾緊范圍和結(jié)構(gòu)尺寸根據(jù)具體規(guī)格專門設(shè)計(jì)，可廣泛應(yīng)用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)的研發(fā)、制造和維修領(lǐng)域。該卡盤系機(jī)/液一體化精密機(jī)械部件，是直接裝卡發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子軸的專用工裝，靠液壓傳遞夾緊力，靠同步柔性微變形機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)精密定位。該卡盤分單環(huán)和雙環(huán)兩種，分別為不同型號(hào)發(fā)動(dòng)機(jī)所用。該卡盤與超精密氣浮軸系同軸安裝成回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和裝夾一體化系統(tǒng)，用于發(fā)動(dòng)機(jī)的裝配與檢測(cè)。
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無噪聲、無振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。
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大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測(cè)量?jī)x由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、艦船發(fā)動(dòng)機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零、部件的跳動(dòng)、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測(cè)，并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲(chǔ)、并建立數(shù)據(jù)庫(kù)，通過計(jì)算機(jī)對(duì)誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)價(jià)和分析，得出正確的測(cè)量結(jié)果并出具測(cè)試報(bào)告。