南寧超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司
發(fā)布時(shí)間:2022-11-02 01:35:42
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基本原理:在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上,將惠普爾理論與壓力對(duì)數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合,對(duì)傳統(tǒng)氣體潤(rùn)滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型,在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下,對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化,從而得到基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值:對(duì)超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動(dòng)靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動(dòng)靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動(dòng)能力,提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明:與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比,承載能力提高4倍以上,剛度提高6倍以上,流量略有增大,性能曲線(xiàn)對(duì)比見(jiàn)Fig.1-3。

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大深徑比測(cè)量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測(cè)量技術(shù),無(wú)論對(duì)單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀(guān)器件的微結(jié)構(gòu),均可實(shí)現(xiàn)超精密級(jí)的測(cè)量。自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶(hù)量身定制的專(zhuān)業(yè)測(cè)量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測(cè)量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國(guó)產(chǎn)化,60-80個(gè)工作日即可供貨,在最短的供貨時(shí)間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專(zhuān)家級(jí)成套解決方案超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒(méi)。依托本公司超精密儀器與裝備工程專(zhuān)家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測(cè)量成套解決方案。

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他對(duì)項(xiàng)目組已經(jīng)取得的標(biāo)志性成果、研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和隊(duì)伍建設(shè)等予以充分肯定,對(duì)課題組在參與國(guó)際、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定方面所做的工作給予認(rèn)可,還特別對(duì)項(xiàng)目組在承擔(dān)專(zhuān)項(xiàng)任務(wù)中進(jìn)一步衍生開(kāi)發(fā)出新型高度測(cè)量?jī)x器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場(chǎng)考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時(shí)了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目執(zhí)行情況,并重點(diǎn)詢(xún)問(wèn)了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進(jìn)展情況,對(duì)研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評(píng)價(jià),并鼓勵(lì)項(xiàng)目組進(jìn)一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。

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基本原理:干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè),兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上,這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大,從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi),兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的,即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響,并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型,實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。