山西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時(shí)間:2022-11-12 01:35:31
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測量,并能進(jìn)行相關(guān)分析。可廣泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域。基準(zhǔn)型圓柱度測量儀可用于計(jì)量部門,開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色:超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù),經(jīng)特殊加工工藝研制,因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能,保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。

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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn),氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理,既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺調(diào)心調(diào)傾工作臺安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺的臺面上,具有調(diào)心和調(diào)傾功能,具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用的特點(diǎn).雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機(jī)構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降,水平運(yùn)動可手動進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時(shí)可以微調(diào).通過傳感器夾持機(jī)構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài),并可以測量內(nèi)孔.

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基本原理:干涉儀對深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測,兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上,這樣可不斷地將測量范圍擴(kuò)大,從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi),兩次測量得到的波前相位值是一致的,即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實(shí)際測量過程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響,并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型,實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。

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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后,平行入射到DMD上,被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后,被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上,從而實(shí)現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時(shí),基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描,實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作??茖W(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值:利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡,實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫入,有效提高了寫入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比,像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑,可極大地提高寫入分辨力。

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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測量儀(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動機(jī)、艦船發(fā)動機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件,盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測,并對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲、并建立數(shù)據(jù)庫,通過計(jì)算機(jī)對誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評價(jià)和分析,***終得出正確的測量結(jié)果并出具測試報(bào)告。