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最大光束直徑：9mm
光纖接口 ：LC 或 E2000
輸出效率 ：≥25%
測量點公差：平均值±0.15mm，偏差值±1mm
角度容差：±1mrad
光束平行度：＜50μrad （單軸測量光與參考光之間）
解決方案
視頻展示
一.產品簡介
XP01-P-B是由哈爾濱工業(yè)大學研制、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司開發(fā)的 高精度空間分離單軸激光干涉鏡組。XP01-P-B鏡組采用自主專利的空間分離光路結構，具 有超低周期非線性指標；采用光纖準直/耦合器件粘接工藝，保證了光束出色的平行度與穩(wěn) 定度，適合要求苛刻的超精密測量需求與場合。
二.XP01-P-B型激光干涉鏡組技術規(guī)格
| 測量特性 | 分辨力 | 九/4 （光學四細分） |
| 熱漂移系數(shù) | W30 nm/K | |
| 非線性誤差 | 優(yōu)于±0.2nm | |
| 光機特性 | 最大光束直徑 | 9mm |
| 光纖接口 | LC 或 E2000 | |
| 輸出效率 | 225% | |
| 測量點公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1mrad | |
| 光束平行度 | V50Rrad （單軸測量光與參考光之間） | |
| 工作環(huán)境 | 溫度范圍 | 18℃-25℃ （推薦值 20±1℃, 30 min 內變化W±0.1℃） |
| 相對濕度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 110mmx90mmx45mm （包含殷鋼保護殼） |
| 重量 | 1.5 kg | |
| 共振頻率 | >1kHz |
三.XP01-P-B型激光干涉鏡組出光位置
四.XP01-P-B型激光干涉鏡組安裝尺寸
（圖中尺寸只做位置說明，不用于生產加工）
可根據(jù)實際測量需求定制單/多軸空間分離激光干涉鏡組方案。
五.XP01-P-B型激光干涉鏡組部件清單
鏡組1套（含光纖準直器、耦合器共4個；膠接，出廠前裝調）
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