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一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介DP03-P是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的高精度三軸激光干涉鏡組。DP03-P鏡組具有三個(gè)測(cè)量軸,可對(duì)被測(cè)目標(biāo)進(jìn)行多自由度位移同步測(cè)量,以進(jìn)一步解