貴陽(yáng)超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間:2023-01-27 01:34:13
貴陽(yáng)超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
015年6月8日下午15:40至16:20,上海市市長(zhǎng)楊雄一行在黑龍江省省長(zhǎng)陸昊、哈爾濱市委書記陳海波,哈爾濱工業(yè)大學(xué)校長(zhǎng)周玉等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下來(lái)到哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司進(jìn)行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過(guò)程中,譚久彬教授向陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)詳細(xì)介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構(gòu)成的產(chǎn)學(xué)研一體化運(yùn)作模式,研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進(jìn)展。

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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過(guò)預(yù)驗(yàn)收與交付,這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”,其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái),尺寸龐大(2.2m′1.9m),結(jié)構(gòu)復(fù)雜,僅定位銷孔一百二十多個(gè);螺紋孔四百多個(gè);基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體,尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m,其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高,正常的制造周期為6個(gè)月。

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核心技術(shù)指標(biāo)通過(guò)國(guó)家量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)主要核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)合的的型號(hào)產(chǎn)品; 在航天、國(guó)防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,可解決我國(guó)高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國(guó)的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展,HUE-G2631將在我國(guó)發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導(dǎo)微口徑約束、針孔光闌m科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究校準(zhǔn)溯源、工藝改進(jìn)

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超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測(cè)量,不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高,直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm),在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì),保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì),經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年老化沉積,花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻,強(qiáng)度高,應(yīng)力變形小,對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過(guò)精加工保證各零、部件的機(jī)械位置,基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器,綜合了國(guó)內(nèi)外優(yōu)勢(shì)技術(shù)方案,技術(shù)密集度極高,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測(cè)量。使用環(huán)境,溫度要求:20℃±1℃;濕度要求:小于60%RH;隔振要求:儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上,周圍無(wú)劇烈振動(dòng)和沖擊;電磁場(chǎng)要求:使用現(xiàn)場(chǎng)周圍無(wú)強(qiáng)電磁干擾。