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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個新的臺階。
光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎(chǔ)框架是整個光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎(chǔ)框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，機(jī)械轉(zhuǎn)臺正常的制造周期為6個月。由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測試，歷經(jīng)5天的時間完成了整個測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運(yùn)往上海。
