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研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
基本原理：干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。
科學意義及應用價值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測量模型，依據(jù)該測量模型，可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器，進而解決凸凹深度非球面測量問題。
該技術已申請中國發(fā)明。
