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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等。
規(guī)格與工作特性
臺面直徑范圍為φ200mm一φ600mm,設(shè)計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo
結(jié)構(gòu)與工作特性
HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術(shù),進行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計,使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn),在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺控制特性
該轉(zhuǎn)臺分為有驅(qū)動和無驅(qū)動兩種,有驅(qū)動的控制指標可按下述數(shù)據(jù)選配。