我國(guó)在此領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究水平雖有很大提高，但在性能完備性、可靠性、與精度保持性上還有較大的差距。由于超精密機(jī)床設(shè)備技術(shù)含量高，種類多，批量小，關(guān)鍵部件缺乏國(guó)內(nèi)配套產(chǎn)品支持等原因，國(guó)內(nèi)超精密專用加工與檢測(cè)設(shè)備與國(guó)外相比有更大的差距，阻礙了我國(guó)高新技術(shù)的發(fā)展和國(guó)防現(xiàn)代化發(fā)展的步伐，具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

（1）設(shè)備的總體性能。對(duì)于一些復(fù)雜形狀的零件加工，航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀需要兩軸以上的超精密加工設(shè)備才能完成，而國(guó)內(nèi)的金剛石切削設(shè)備目前只做到了兩軸。

（2）綜合精度指標(biāo)及穩(wěn)定性。國(guó)內(nèi)研制的超精密切削加工設(shè)備無(wú)論是主軸還是導(dǎo)軌的單項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)與國(guó)外商品相比已經(jīng)接近，但是從設(shè)備的總體技術(shù)指標(biāo)來(lái)看還有一定的差距。國(guó)內(nèi)加工機(jī)床的面型精度雖然也可以達(dá)到亞微米級(jí)，但是對(duì)加工條件要求苛刻，更重要的是不能穩(wěn)定地達(dá)到亞微米級(jí)的面型精度。

（3）控制系統(tǒng)方面。Moore公司自行開(kāi)發(fā)的Delta Tau運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、Precitech公司自行開(kāi)發(fā)的UPx?Control System等，都已經(jīng)在各自公司生產(chǎn)的設(shè)備上得到了很好的應(yīng)用。國(guó)內(nèi)研制的超精密加工設(shè)備中的控制系統(tǒng)有的是自行開(kāi)發(fā)的，也有的是直接引進(jìn)的通用型數(shù)控系統(tǒng)，無(wú)論是控制系統(tǒng)的性能還是軟件等方面都存在著較大的差距。

超精密加工技術(shù)正受到毫微米精度的挑戰(zhàn)，還面臨微機(jī)械加工的要求，傳統(tǒng)的加工也面臨不適應(yīng)的局面。因此從戰(zhàn)略上必須重視這些發(fā)展。例如在微機(jī)械的制造技術(shù)領(lǐng)域，微機(jī)械與微機(jī)械加工已是當(dāng)前超精密加工技術(shù)延伸的一個(gè)重要方面。航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀與傳統(tǒng)的機(jī)械加工有著很大差異，并逐漸成為超精密加工技術(shù)領(lǐng)域的一種嶄新的動(dòng)向，起到了推動(dòng)超精密加工技術(shù)發(fā)展的作用。LIGA技術(shù)就是這種趨勢(shì)典型的產(chǎn)物，電加工向微細(xì)加工的發(fā)展也是重要表現(xiàn)。由STM、AFM等組成的SPM系統(tǒng)已經(jīng)應(yīng)用到機(jī)械加工領(lǐng)域，超精密加工的表面質(zhì)量通過(guò)這類測(cè)量?jī)x表的計(jì)量，使加工的技術(shù)水平向更高層次發(fā)展。這些技術(shù)的發(fā)展不僅推動(dòng)了微機(jī)械技術(shù)的發(fā)展，而且也促進(jìn)了傳統(tǒng)機(jī)械加工的進(jìn)步。