傳統(tǒng)的氣浮平臺多數(shù)采用旋轉電機與滾動絲杠相結合，將電機的旋轉運動經(jīng)由絲杠轉變?yōu)榕c其相連的工作臺的直線運動。這種驅動方式的缺點很明顯，如系統(tǒng)傳動鏈較長、結構復雜、摩擦較大等。另外，其承載與導向元件一般采用滑動或滾動導軌，這兩類導軌在系統(tǒng)進行低速運動時會出現(xiàn)“爬行”現(xiàn)象，致使運動不穩(wěn)定，影響系統(tǒng)精度。

超精密氣浮轉臺在精密與高精密測量與制造領域，如何解決上訴問題是提高工作臺性能的關鍵。直線電機驅動的精密運動工作臺應時而生，其消除了電動機到工作臺的傳動環(huán)節(jié)，實現(xiàn)了零傳動鏈的電機驅動方式。另外，根據(jù)部分輕載工作臺的應用要求，結合導軌的優(yōu)劣性能，采用氣浮導軌與直線電機相結合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技術指標的實現(xiàn)變得更加容易，成為了在精密運動工作臺發(fā)展中的又一-突破。但是，結合國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀，我國的氣浮平臺技術遠遠落后于國外各工業(yè)大國，各種設備多靠進口，自主研發(fā)能力較弱，這種情況嚴重制約著我國的工業(yè)技術發(fā)展，所以，對直線伺服氣浮工作臺的研究意義深遠。

氣浮轉臺是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入，使轉軸懸浮于空氣中，并能平滑旋轉，使轉軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使導流間隙特別小，保證轉軸懸浮，從而獲得較高的軸向和徑向跳動誤差。高速、高精度、無摩擦、無磨損、不潤滑、速度穩(wěn)定、無噪音。氣浮轉盤具有許多優(yōu)點，越來越多地使用氣浮式軸承來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機械軸承。

氣浮轉臺作為一種典型的超精密機械，從誕生起就受到了人們的廣泛關注，其中包括微光刻技術、數(shù)控加工、生命科技、納米面形測量，高精密機床研發(fā)等領域，是超精密定位、探測及精確移動載體平臺，為超精密加工工藝技術的研究開發(fā)拓展了一個領域，可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗等問題。

對氣浮轉臺的高壓氣體的流動規(guī)律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分掌握。制造出小孔節(jié)流型氣浮轉臺，其影響因素：高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器直徑、節(jié)流器數(shù)量、均壓槽深度等，找到了優(yōu)氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間，取得了關鍵技術突破，使用壽命10年以上，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。