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隨著工業(yè)自動化的發(fā)展，現(xiàn)在很多應(yīng)用對精度的要求越來越高，無論是旋轉(zhuǎn)運動還是直線運動。旋轉(zhuǎn)運動目前用的比較多的是轉(zhuǎn)臺，轉(zhuǎn)臺又大體分為氣浮軸承和機械軸承的兩種：氣浮特點是負載小、精度高，周跳徑跳指標(biāo)好，機械的是負載大、剛性好。
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺有許多種選項包含－不同尺寸之中空孔徑(Aperture)，臺面大小，安裝孔位選項等，為各種不同工業(yè)自動化應(yīng)用之理想解決方案。精密旋轉(zhuǎn)平臺具有極佳的擺動(Wobble)與偏轉(zhuǎn)(Runout)特性，適用于工業(yè)機械手臂，光纖，光電，視覺檢測系統(tǒng)，工具機，封裝，半導(dǎo)體設(shè)備，醫(yī)療裝置雷射加工，電子零件生產(chǎn)，與其他高性能工業(yè)自動化應(yīng)用等。
下面是幾款接觸到的幾款精密轉(zhuǎn)臺：
1.精密氣浮轉(zhuǎn)臺
?大扭力輸出，直接驅(qū)動無槽，無刷伺服馬達
?無頓轉(zhuǎn)伺服馬達以提供極高之速度穩(wěn)定性
?極佳的誤差運動(Error Motion)與偏轉(zhuǎn)(Runout)特性
?直接耦合，高精度旋轉(zhuǎn)編碼器(光柵)
?大尺寸中空口徑
?完全無機械接觸
2.ABRS超精密氣浮轉(zhuǎn)臺
?直接驅(qū)動無槽，無刷伺服馬達
?無頓轉(zhuǎn)(Zero cogging)伺服馬達以提供極高之速度穩(wěn)定性
?極佳的誤差運動(Error Motion)與擺動(Wobble)特性
?直接耦合，高精度旋轉(zhuǎn)編碼器(光柵)
?平面式設(shè)計，降低平臺高度
