在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過程中，工作臺往往需要實現(xiàn)一定度數(shù)范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)、定位從而滿足加工工藝的要求。因此，實現(xiàn)工作臺可靠、平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，精準(zhǔn)落位，是半導(dǎo)體專用設(shè)備制造關(guān)鍵技術(shù)。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，傳統(tǒng)的工作臺驅(qū)動方式是通過電機(jī)減速器直接作用于軸系，帶動機(jī)械轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)，這種裝置在實際應(yīng)用中存在一定的不足，運轉(zhuǎn)不平穩(wěn)，震動大，噪音大，由于轉(zhuǎn)動慣量不匹配，導(dǎo)致工作臺落位時難以停穩(wěn)，定位精度不能滿足工藝需求，從而大大降低了設(shè)備可靠性。

在近幾年的機(jī)械工業(yè)創(chuàng)新發(fā)展機(jī)床行業(yè)。在原有的機(jī)械轉(zhuǎn)臺基礎(chǔ)上，把普通絲桿較換成滾珠絲杠，在鑄鐵的導(dǎo)軌面上鑲嵌直線導(dǎo)軌。把變速箱電機(jī)較換成伺服電機(jī)。

1、氣壓驅(qū)動：氣壓驅(qū)動具有，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，維修方便等特點，適用于中小負(fù)載的系統(tǒng)中。難于實現(xiàn)伺服控制，多用于程序控制的滑臺機(jī)械手，在上下料和沖壓設(shè)備中應(yīng)用較多。

2、電動驅(qū)動：隨著低慣量、直流伺服電機(jī)及配套的伺服驅(qū)動器的廣泛應(yīng)用，這種驅(qū)動系統(tǒng)被大量選用，在很大范圍內(nèi)發(fā)生作用。

3、液壓驅(qū)動：液壓驅(qū)動具有動力大，慣量大，響應(yīng)，易于實現(xiàn)直接驅(qū)動等特點，適用于承載能量大，環(huán)境中工作的滑臺機(jī)械手。

回轉(zhuǎn)工作臺的分度精度和重復(fù)定位精度首先取決于回轉(zhuǎn)工作臺的圓心Y軸的精度，Y軸徑向圓跳動誤差過大就會直接影響分度的精準(zhǔn)度，因為圓心都不在同一個圓心上，所以測量出來的角度就談不上精準(zhǔn)，更談不上重復(fù)定位的精準(zhǔn)（這里談的是實際測量值和理論值是有差異的），因此Y軸（即圓心）的徑向精度是確保分度精度和重復(fù)定位精度的重要基礎(chǔ)。

機(jī)械轉(zhuǎn)臺X軸（工作臺平面）回轉(zhuǎn)精度（即X正和X負(fù)）、Y軸的徑向精度、分度精度和重復(fù)定位精度，是確?？臻g坐標(biāo)各軸線垂直、平行的重要基礎(chǔ)，有了這個重要基礎(chǔ)的保證，才能確保各種零部件的加工精度。