機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)作為精密設(shè)備，分為直線運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在使用時(shí)注意事項(xiàng)：

1機(jī)械結(jié)構(gòu)部分：

1.1）直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個(gè)平面度5μm的平臺(tái)基座上。

1.2）氣浮臺(tái)的供氣氣源要是潔凈的，無(wú)水無(wú)油固體顆粒小于0.2μm，壓力露點(diǎn)-20℃，三級(jí)過(guò)濾器定期排水（因地域濕度不同，根據(jù)實(shí)際情況檢查，周/月/季檢查），三級(jí)過(guò)濾器要豎直安裝，定期檢查是否有油水的情況，如有，打開過(guò)濾器底部開關(guān)排出。

1.3）直線軸和轉(zhuǎn)臺(tái)負(fù)載臺(tái)面在3μm以內(nèi)，先用無(wú)水乙醇擦拭干凈在安裝工件。

1.4）機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)安裝的工件平面度3μm以內(nèi)。

1.5）安裝螺釘時(shí)，4角固定時(shí)要對(duì)角線上螺釘，環(huán)形固定時(shí)要也對(duì)角安裝，先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。

1.6）轉(zhuǎn)臺(tái)先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa，關(guān)機(jī)時(shí)先斷電再斷氣。

1.7）直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝，先用無(wú)水乙醇擦干凈，在安裝螺釘，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)，安裝方法參考1.5。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的精度指標(biāo)：

直線臺(tái)：定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，見下圖。

直線度：機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)在水平方向移動(dòng)時(shí)于垂直水平軸線的左右方向偏差；

平面度：（又稱垂直于直線度）運(yùn)動(dòng)臺(tái)在水平方向移動(dòng)時(shí)于垂直于水平軸線上下方向的偏差；

Pitch：圍繞X方向的角度誤差；

Roll：圍繞Y軸方向的角度誤差；

Yaw：圍繞Z方向的角度誤差。