超精密氣浮轉(zhuǎn)臺的使用方法需要遵循一系列嚴格的步驟和注意事項，以確保其正常運行和延長使用壽命。以下是整理的關(guān)于超精密氣浮轉(zhuǎn)臺使用方法的詳細介紹：

　　一、安裝與準(zhǔn)備

　　安裝平面度要求：直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。

　　供氣氣源要求：氣浮臺的供氣氣源應(yīng)是潔凈的，無水無油，固體顆粒小于0.2μm，壓力露點-20℃。三級過濾器需要定期排水（根據(jù)地域濕度不同，周/月/季檢查），并豎直安裝，定期檢查是否有油水情況，如有需打開過濾器底部開關(guān)排出。

　　負載臺面清潔：直線軸和轉(zhuǎn)臺負載臺面在3μm以內(nèi)，需先用無水乙醇擦拭干凈后再安裝工件。

　　螺釘安裝：安裝螺釘時，4角固定時要對角線上螺釘，環(huán)形固定時也要對角安裝。先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。

　　二、操作與使用

　　通氣通電順序：轉(zhuǎn)臺應(yīng)先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa范圍內(nèi)。關(guān)機時，應(yīng)先斷電再斷氣。

　　直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝：先用無水乙醇擦干凈，再安裝螺釘和轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)。

　　精度維護：超精密氣浮轉(zhuǎn)臺在運行過程中，需要保持其精度指標(biāo)，包括定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度以及Pitch/Roll/Yaw等角度誤差。

　　三、注意事項

　　定期檢查與維護：需定期檢查氣浮轉(zhuǎn)臺的各項性能指標(biāo)，如供氣氣源、平面度、清潔度等，確保其處于工作狀態(tài)。

　　避免過載：超精密氣浮轉(zhuǎn)臺負載小但精度高，應(yīng)避免過載使用，以免影響其性能和壽命。

　　清潔與保養(yǎng)：定期使用無水乙醇等清潔劑對負載臺面進行清潔，以保持其精度和性能。

　　總結(jié)：超精密氣浮轉(zhuǎn)臺的使用方法包括安裝與準(zhǔn)備、操作與使用以及注意事項等方面。在使用過程中，需要遵循嚴格的步驟和注意事項，以確保其正常運行和延長使用壽命。同時，定期的檢查、維護和保養(yǎng)也是必不可少的。