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超精密制造
榮譽(yù)資質(zhì)
超精密制造能力展示
2022-01-19 11:18:00
已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車間,2820㎡的精密/超精密加工車間,2110㎡的精密裝校車間,約2100㎡的光電...
基于整形環(huán)形光的橫向超分辨共焦顯微成像方法
2022-01-19 11:14:22
研究目的:構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性,解決光束合理整形問題并突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)。基本原...
基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)技術(shù)
2022-01-19 11:12:58
研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn),解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問題,以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度...
基于多孔徑干涉拼接的深度非球面測(cè)量技術(shù)
2022-01-19 11:11:42
研究目的:研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù),解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問題,實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。...
基于微光學(xué)陣列的多光斑可控并行激光直接寫入技術(shù)
2022-01-19 09:41:14
研究目的:研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù),以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題,提高...
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